Matthes, Ina <br/><br/>
Platz für die Weltrekord-Maschine/  Mikroelektronik Frankfurter Institut IHP startet des Betrieb eines 15 Millionen Euro teuren Reinraums. 
Ina Matthes 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Frankfurt (Oder) IHP