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008			201130b ||||| |||| 00| 0 eng d
040			_bger _cSTAFF _erda
100			_aMatthes, Ina
245			_aFrankfurts reinster Raum _bMikroelektronik: Staub darf hier nicht größer sein als ein Bakterium. Im Institut IHP entsteht ein Anbau - für neue Maschinen und spannende Forschung.
773			_dFrankfurt (Oder): Märkisches Verlags- und Druckhaus GmbH & Co KG _g31. Jahrgang (2020) Nr. 275 vom 25.11.2020, S. 7 _tMärkische Oderzeitung
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