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_aPlatz für die Weltrekord-Maschine/ _cIna Matthes _bMikroelektronik Frankfurter Institut IHP startet des Betrieb eines 15 Millionen Euro teuren Reinraums. |
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_dFrankfurt (Oder): Märkisches Verlags- und Druckhaus GmbH & Co KG _g32. Jahrgang (2021) Nr. 55 vom 06/07.03.2021, S. 7 _tMärkische Oderzeitung |
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